台湾hiwin上银纳米定位平台首度亮相
上银集团旗下上银科技及大银微系统两公司再度携手，以大银微系统为主体参加2日登场的SEMICON Taiwan2026国际半导体展，聚焦晶圆定位、奈米级检测、矽光子应用、薄膜制程与先进封装自动化，以MD-ZT多维度定位平台即时补正晶圆姿态，提供半导体设备7天24小时 精准长效运作等推出四大关键技术成果。新开发整合驱动器及控制器的一奈米定位平台也首度亮相。
大银微系统目前来自半导体产业订单持续增长，矽光子检测设备定位平台4月开始出货给国内矽光子检测设备厂商，初期出货数量个位数，7、8月合计出货超过数百台，客户两次追加订单，目前矽光子检测设备定位平台订单能见度看到明年第二季。还接获美国Tier 1半导体设备厂后段检测完整解决方案订单，大银微系统结合上银提供ONE HIWIN Solution。
大银微系统指出，今年参加SEMICON Taiwan展，主要展出四项技术，一、克服4mm晶圆翘曲5个自由度MD-ZT定位平台进行翘曲补正，解决显微对焦难题。二、实现±1nm伺服稳定技术达100%检出率1-Nano驱控器具备±1nm伺服稳定效果，搭配50~100高倍率镜头维持影像清晰。三、矽光子耦合损耗<0.5 dB，整合6轴精密微动模组与直流驱动器±5nm控制，提升光耦合效率及寻光对位品质。四、50,000小时MTBF量产可靠度，大银精密运动技术结合上银PLP自动化次系统，达到200WPH长时间运转可靠度，满足先进封装及半导体设备稳定产出。
大银微系统表示，因应半导体晶片制程由圆转方的新世代演进，310 x 310mm尺寸持续朝515 x 510mm发展，对于异质整合的翘曲挑战、长行程的累积误差问题提供解决通案；MD-ZT多维度定位平台，具备5个自由度的精准定位功能，可在晶圆检测过程即时补正晶圆的姿态变化，有效克服镜头对焦问题，提高量测/检测效率达90%。最新推出的1-Nano驱控器（1-Nano Controller）可实现±1 nm的伺服稳定度技术，搭配高倍率显微镜的放大取像，影像清晰稳定，检出率达100%，成为高阶量测与检测设备的核心。
大银微系统执行副总经理游凯胜指出，大银未来会更积极将1-Nano驱控器，整合到现有解决方案。
